[实用新型]纳米硅微波开关二极管无效
| 申请号： | 01219780.7 | 申请日： | 2001-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN2503609Y | 公开（公告）日： | 2002-07-31 |
| 发明（设计）人： | 何宇亮;王因生 | 申请（专利权）人： | 何宇亮;李爱刚 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所 | 代理人： | 张德胜 |
| 地址： | 210042 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纳米硅微波开关二极管,是以低电阻率单晶硅为基片,在其上方沉积一层掺杂纳米硅薄膜,构成纳米硅/单晶硅异质结构。该纳米硅微波开关二极管具有优越的伏一安特性,击穿电压Vb为30～70伏,反向漏电流Ir仅为纳安(nA)量级,具有极好的温度稳定性,可在不大于250℃温度范围内使用。反向开关时间tr不大于1.5纳秒(ns),纳米硅/单晶硅异质结内的电输运是以隧穿机制为主,且服从陡变结电容公式。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 微波 开关二极管 | ||
【主权项】：
1、一种纳米硅微波开关二极管，其特征在于以低电阻率单晶硅为基片，在其上方沉积一层掺杂纳米硅薄膜，构成纳米硅/单晶硅异质结构。
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