[实用新型]静电叠层式兰姆波微型传感器无效
| 申请号： | 01221717.4 | 申请日： | 2001-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN2492851Y | 公开（公告）日： | 2002-05-22 |
| 发明（设计）人： | 吴一辉;费朗西思·贝思汀;米歇尔·罗勃切罗尔;贾宏光;鞠挥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N21/45 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型用于压力、加速度测量,可以应用于生物、化学、环境等许多领域中,涉及对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量,尤其是涉及一种对兰姆波微传感器的改进。它包括衬底、薄膜,金属层、凸台、接收窗口、叉指电极、齿状支撑、衬底,本实用新型采用常规的体硅工艺,不需特殊工艺便可制造由于采用薄膜、金属层、凸台、齿状支撑和叉指电极的结构,提供了一种体积小、重量轻、成本低、质量稳定、寿命长的叠层式静电驱动兰姆波微型传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 叠层式兰姆波 微型 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种静电叠层式兰姆波微型传感器，其特征在于：衬底1、薄膜2，金属层分别为3和4、凸台5、接收窗口6、叉指电极7、齿状支撑8、凸台9、衬底10、氧化层11，传感器由上下两层结构构成分别是衬底1和衬底10，在衬底1的本体上制备有薄膜2，在薄膜2的上下表面制备金属层分别为3和4，在衬底1本体上对称位置制备有两个凸台5，在衬底10的本体上制备有接收窗口6、齿状支撑8和两个凸台9，在齿状支撑8的齿间制备有叉指电极7，两个凸台5的底部与两个凸台5的上部连接。
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