[实用新型]负电子亲和势光电阴极原位评估装置

摘要

本实用新型涉及一种负电子亲和势光电阴极原位评估装置。包括表面分析系统,其特征在于表面分析系统通过连接管及波纹管与激活系统相连,激活系统包括激活真空室,连接管两端分别与法兰及主真空室连接,中间设置拨叉和闸板阀,波纹管与涡轮分子泵连接处抽气管道上设置三通阀,激活真空室上连接离子升华泵,光谱响应测试仪通过光纤和玻璃棒与激活真空室连接。本实用新型实现了对NEA光电阴极的激活、原位光谱响应测试、X射线光电子能谱、紫外光电子能谱的原位分析装置的有机连接,可科学地分析和评估NEA光电阴极的性能,原位表征更多性能参数,结构紧凑,可节省时间和实验费用。

主权项

1、一种负电子亲和势光电阴极原位评估装置，包括表面分析系统，表面分析系统包括主真空室[7]、预抽室[11]、紫外光源[10]、送样杆[12]、离子升华泵[13]、机械泵[17]、涡轮分子泵[18]，紫外光源[10]与主真空室[7]连接，中间设置阀门[8]，预抽室和主真空室之间的管路上设置阀门[9]，送样杆[12]与预抽室连接，涡轮分子泵[18]连接到主真空室和预抽室之间，管路上设置阀门[14]、[15]，机械泵[17]连接到涡轮分子泵上，其特征在于：表面分析系统及角阀[20]通过连接管[4]及波纹管[19]及角阀[20]与激活系统相连，激活系统包括激活真空室[2]，连接管[4]两端分别与法兰[28]及主真空室连接，中间设置拨叉[5]和闸板阀[6]，波纹管[19]与涡轮分子泵[18]连接处抽气管道上设置三通阀[16]，激活真空室上连接离子升华泵[21]，抽气管道[31]上设置闸板阀[22]，光谱响应测试仪[3]通过光纤[35]和玻璃棒[36]与激活真空室连接，磁力传输杆[1]与激活真空室的法兰盲口[23]连接。