[实用新型]显示面板的表面处理装置无效
| 申请号： | 01258974.8 | 申请日： | 2001-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN2496100Y | 公开（公告）日： | 2002-06-19 |
| 发明（设计）人： | 卢添荣 | 申请（专利权）人： | 铼宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G09G3/30 | 分类号： | G09G3/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种显示面板的表面处理装置,包含有一光阻涂布模组;一加热板预烤单元,是连接该光阻涂布模组的一端,以预烤该有机电激发光显示面板的表面上的光阻层;一曝光单元,是连接该加热板预烤单元的一端;一加热板,是连接该曝光单元的一端,以后烘烤进行曝光制程的光阻层;一显影模组,是连接该加热板曝光后烘烤碱性气氛表面处理横组的一端,以形成该复数条光阻隔离墙;以及一加热板硬烤单元,是连接显影模组的一端其中,加热板曝光后烘烤碱性气氛表面处理模组中会导入碱性物质气氛,可以终止光阻层表层的酸性离子的自催化反应,使该光阻隔离墙的顶部成为T形状。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板的表面处理装置，是用来制作一有机电激发光显示器的复数条光阻隔离墙，其特征在于，该表面处理装置包含有：一光阻涂布模组，是用以涂布一光阻层于该有机电激发光显示面板的表面上；一加热板预烤单元，是连接该光阻涂布模组的一端，以预烤该有机电散发先显示面板的表面上的光阻层；一曝光单元，是连接该加热板预烤单元的一端，以对该解过预烤的光阻层进行一曝光制程；一加热板曝光后烘烤碱性气氛表丙处理模组，是连接该曝光单元的一端，以往烘烤该进行曝光制程的光阻；一显影模组，是连接该加热板曝光后烘烤碱性气氛表面处理横组的一端，以对该经过后烘烤的光阻层进行一显影制程，以形成该复数条光阻隔离墙；以及一加热板硬烤单元，是连接该显影模组的一端，以烘烤该复数条光阻隔离墙，以进一步降低该复数条光阻隔离墙内所残留的溶剂含量；其中，加热板曝光后烘烤碱性气氛表面处理模组中会导入碱性物质气氛，可以终止光阻层表层的酸性离子的自催化反应，使该光阻隔离墙的顶部成为T形状。
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