[实用新型]低氧碳单晶硅复投料自卸机构无效
申请号: | 01265431.0 | 申请日: | 2001-09-24 |
公开(公告)号: | CN2510507Y | 公开(公告)日: | 2002-09-11 |
发明(设计)人: | 任丙彦;王会贤;吴树田;曹中谦;张立科;王滢赞 | 申请(专利权)人: | 河北省宁晋县晶隆半导体厂;宁晋县电子材料研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 石家庄新世纪专利事务有限公司 | 代理人: | 蔡建成 |
地址: | 055550 河北省宁晋县高新技*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型属于自卸机构,特别是指一种低氧碳单晶硅复投料自卸机构。它包括设置于料筒内壁的筒状衬板,在筒状衬板的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板的上部及中下部分别与筒状衬板和摇杆下端活络连接,拉杆垂直设置于料筒内腔中,摇杆的上端与拉杆下端横向设置的连杆活络连接,料筒外壁设置有限位块。本实用新型解决了现有技术生产成本及电能消耗大、工人的劳动强度高等问题。本装置结构设计合理,零部件选配得当,除能充分满足现有生产过程中的工艺条件要求外,可大幅度提高石英坩埚的利用率,降低生产过程中的电消耗和操作工人的劳动强度。 | ||
搜索关键词: | 低氧 单晶硅 投料 机构 | ||
【主权项】:
1、低氧碳单晶硅复投料自卸机构,其特征在于它包括设置于料筒(2)内壁的筒状衬板(3),在筒状衬板(3)的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板(7)组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板(7)的上部与筒状衬板(3)活络连接,挡板(7)的中下部与摇杆(5)下端活络连接,拉杆(1)垂直设置于料筒(2)内腔中,摇杆(5)的上端与拉杆(1)下端横向设置的连杆(4)活络连接,料筒(2)外壁设置有限位块(6)。
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