[实用新型]一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置无效
| 申请号： | 01265931.2 | 申请日： | 2001-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN2510503Y | 公开（公告）日： | 2002-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱克志;李东生;赵玉清 | 申请（专利权）人： | 陕西百纳科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 西安新思维专利事务所有限公司 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710061 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置,其主工作台用以实现工件在设定工位的分度及定位,同时对安装于主工作台上的回转工作台进行回转运动传递,回转工作台用以实现工件的装夹,回转及所需的摆角位置,限位部件,用于配合主工作台实现限位及回转工作台实现运动传递。本实用新型位于真空室内,可实现工件装夹、分度回转等离子清洗和分度回转镀膜,工作范围大,可确保镀膜位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 镀膜 分度 回转 工作台 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置，包括回转工作台(3)、主工作台(4)和驱动装置(9)，所述回转工作台(3)设置在主工作台(4)上方，所述驱动装置(9)包括电机(15)和主传动轴(10)，所述主工作台(4)设置在主传动轴(10)上，其特征在于：所述主工作台(4)上设置有回转部件(8)，该回转部件(8)包括锁紧装置(2)、传动装置(11)和回转驱动装置(5)，传动装置(11)设置在主工作台(4)与回转工作台(3)间，所述回转工作台(3)与传动装置(11)间为可绕传动装置(11)的中心轴(13)旋转的轴联接，锁紧装置(2)设置在中心轴(13)上；所述回转驱动装置(5)包括回转驱动盘(14)和驱动轮(12)，所述回转驱动盘(14)设置在主工作台(4)下方的主传动轴(10)上，其通过驱动轮(12)与传动装置(11)联接，所述主工作台(4)和回转驱动盘(14)联接；所述主工作台(4)外端设置有外棘轮(1)。
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