[实用新型]一种多功能X射线衍射仪

摘要

本实用新型属于X射线衍射技术领域。本实用新型通过不同的组合,使X射线衍射仪具有粉末衍射、双晶衍射、镜面反射和漫散射测量等功能,即成为一台多功能X射线衍射仪;并实现全自动操作,数据收集微机控制;适用于材料微结构分析,特别是固体薄膜材料微结构分析。本实用新型操作方便,性能稳定,其技术参数可满足外延薄膜研究的一般需要,造价低,可为同类衍射仪的改造提供经验。

主权项

1.一种多功能X射线衍射仪，其特征在于：其构成如下：一束特征X射线经过狭缝(1)、准直光管(2)和狭缝(3)，入射到达槽型硅单色器(4)；样品台(5)的底盘能绕单色器(4)的轴转动；经过单色器(4)的单色X射线到达多维运动样品台(5)，实验样品安装在由三个滑板组成的样品台(5)上，该样品台可带动样品做X、Y、Z三个方向运动，每个方向的移动行程为±4mm，最大载重为200克；多维运动样品台(5)还可绕其中心轴，即θ轴(8)旋转，θ轴由步进马达控制，最小步长为0.01度，精度为0.01度，系统误差小于5％；X射线入射到样品上；衍射X射线束经过狭缝光栏(6)，到达闪烁计数器(7)，闪烁计数器(7)安装在可绕样品轴旋转的2θ轴(9)上，2θ轴由步进马达控制，最小步长为0.01度，精度为0.01度，系统误差小于5％；θ轴和2θ轴由微机(10)控制，可分别作θ轴或2θ轴单独转动，也可作θ轴/2θ轴连动；通过闪烁计数器(7)和数据记录系统(10)，即可得到不同类型的测量信息；仪器的操作、控制及数据采集全部由微机(10)控制，实现了自动化。