[实用新型]电子元件的测试装置无效
| 申请号： | 01270340.0 | 申请日： | 2001-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN2512113Y | 公开（公告）日： | 2002-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王士伟 | 申请（专利权）人： | 致茂电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 台湾省台北县五*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电子元件的测试装置,它包括座体,其可向测试物提供一适当的测试位置;后垣壁,其垂直设置在所述座体上;测试座,其设置在后垣壁上,该测试座上设有动作臂,该动作臂垂直于所述座体并由驱动机构驱动;测具,其设置在后垣壁上,并与所述动作臂的下方连接。在测具下前方设有与所述测试位置相对的测针座,该测针座上设有测试探针,测具上还设有与所述测针座相连的调整装置,该调整装置用来调整测具的可测范围。测试座的动作臂受压后可下压测具,使测具的测试探针与测试物接触,从而进行测试。该装置提高了测量的精确度、节省了测量时间、扩大了测量面积,极具实用性和经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子元件的测试装置，其特征在于，它包括：座体(10)，其可向测试物(20)提供一适当的测试位置(11)；后垣壁(41)，其垂直设置在所述座体(10)上；测试座(40)，其设置在后垣壁(41)上，该测试座上设有动作臂(42)，该动作臂垂直于所述座体(10)并由驱动机构驱动；测具(30)，其设置在后垣壁(41)上，并与所述动作臂(42)的下方连接；在测具下前方设有与所述测试位置(11)相对的测针座(31)，该测针座上设有测试探针(311)；测具上还设有与所述测针座相连的调整装置(32)，该调整装置用来调整测具(30)的可测范围；测试座的动作臂(42)受压后可下压测具(30)，使测具的测试探针与测试物接触，从而进行测试。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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