[实用新型]一种凸非球面检验干涉仪无效
| 申请号： | 01272267.7 | 申请日： | 2001-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN2513076Y | 公开（公告）日： | 2002-09-25 |
| 发明（设计）人： | 李凤有;卢振武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G02B3/02 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种凸非球面检验干涉仪,属于光学检验技术领域中的一种对凸非球面面型的检验设备。本实用新型要解决的技术问题是能够检验大曲率凸非球面面型,解决技术问题的技术方案是检验样板采用位相型折衍混合检验样板。本实用新型是由激光光源、半反射平面镜、照明透镜、位相型折衍混合检验样板、待测凸非球面、光阑、成像透镜、CCD相机组成的。位相型折衍混合检验样板,容易制作,光的衍射和折射作用相结合,准确地实现标准凸非球面的波前,由于其它结构没有改变,该凸非球面检验干涉仪仍然具有原来的优点,而且检验效果有所提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 检验 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种凸非球面检验干涉仪，是由激光光源、半反射平面镜、照明透镜、检验样板、待检非球面、光阑、成像透镜、CCD相机组成的，其特征在于在光路上照明透镜(11)和待检凸非球面(13)之间的检验样板采用位相型折衍混合检验样板(12)。
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