[发明专利]光学玻璃及使用该光学玻璃的投影曝光装置有效
| 申请号： | 01800006.1 | 申请日： | 2001-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1358159A | 公开（公告）日： | 2002-07-10 |
| 发明（设计）人： | 木户一博;杉崎雅彦;松丸志津男 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C03C3/064 | 分类号： | C03C3/064;C03C3/066;C03C3/068;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光学玻璃的特征在于,它具有下列重量比范围的组成SiO20～14.8wt%、B2O330～60wt%、Al2O30～17.5wt%、Li2O0～0.4wt%、Na2O0～3wt%、K2O0～3wt%、MgO0～5wt%、CaO0～30wt%、SrO0～30wt%、BaO0～35wt%、但是,RO(MgO+CaO+SrO+BaO)为8～35wt%、ZnO0～20wt%、La2O30～6.5wt%、Gd2O30～15wt%、Y2O30～15wt%、Ta2O30～10wt%、ZrO20～9.5wt%、As2O30～1wt%、Sb2O30～0.5wt%、其折射率(nd)为1.52～1.65,阿贝数(νd)为55～61,80%透过波长(10mm厚,不含反射损失)在330nm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 光学玻璃 使用 投影 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学玻璃，它具有下述重量比范围的组成：SiO20～14.8wt％、B2O330～60wt％、Al2O30～17.5wt％、Li2O0～0.4wt％、Na2O0～3wt％、K2O0～3wt％、MgO0～5wt％、CaO0～30wt％、SrO0～30wt％、BaO0～35wt％、但是RO(MgO+CaO+SrO+BaO)为8～35wt％、ZnO0～20wt％、La2O30～6.5wt％、Gd2O30～15wt％、Y2O30～15wt％、Ta2O30～10wt％、ZrO20～9.5wt％、As2O30～1wt％、Sb2O30～0.5wt％，其折射率(nd)为1.52～1.65，阿贝数(γd)为55～61，80％透过波长(10mm厚，不含反射损失)在330nm以下。
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