[发明专利]永久磁铁薄膜及其制造方法有效

专利信息
申请号: 01800274.9 申请日: 2001-02-21
公开(公告)号: CN1363101A 公开(公告)日: 2002-08-07
发明(设计)人: 上原稔 申请(专利权)人: 住友特殊金属株式会社
主分类号: H01F10/14 分类号: H01F10/14;H01F10/30
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在基板上形成高熔点金属层2、4、6、8和10以及稀土合金磁性层3、5、7、9、11和12交互层叠的4层以上的层叠结构。高熔点金属层2、4、6、8、10由选自Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的至少一种材料形成,具有5nm以上、50nm以下的厚度。稀土合金磁性层3、5、7、9、11和12的主构成相是正方晶R2Fe14B(R是Nd和/或Pr),具有50nm以上、500nm以下的厚度。
搜索关键词: 永久磁铁 薄膜 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种永久磁铁薄膜,它是具备高熔点金属层和稀土合金磁性层交互层叠的4层以上的层叠结构的永久磁铁薄膜,所述高熔点金属层由选自Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的至少一种材料形成,具有5nm以上、50nm以下的厚度,所述稀土合金磁性层的主构成相是正方晶R2Fe14B(R是Nd和/或Pr),具有50nm以上、500nm以下的厚度。
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