[发明专利]通孔内异物检查方法及装置

摘要

能够低成本、高精度、高速度检查通孔内异物的通孔内异物检查方法及装置。所述装置配备有设置在开有多个通孔的工件10的一侧的光源12和设置在所述工件的另一侧的线传感摄像机14(或面积传感摄像机),所述工件设置在所述光源和所述线传感摄像机之间。设置平行移动机构(XY工作台),用以使上述工件和线传感摄像机相对平行移动,以便使上述线传感摄像机可以一次检测透过多个通孔的光线;并且设置图像处理装置24,用以接收由上述线传感摄像机提供的检测信号,以便获得与上述工件内的所述多个通孔对应的多个2值化图像数据。图像处理装置配备有根据与各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定通孔内有无异物的判定装置。

主权项

1.一种通孔内异物检查方法，其特征在于：通过线传感摄像机的相对的平行移动，获取透过多个同一尺寸的通孔的光作为图像数据，相互比较接收上述图像数据中各个透过光线的区域的大小，进行异物有无的判定。