[发明专利]用于涂膜层显影的表面活性剂水溶液有效
| 申请号： | 01802203.0 | 申请日： | 2001-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1386214A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 神田崇 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;C11D3/16 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了用于涂膜层显影的表面活性剂水溶液,它至少含有一种选自以下的表面活性剂N－酰基肌氨酸盐、N－酰基－N－甲基丙氨酸盐、N－酰基牛磺酸盐、N－酰基－N－甲基牛磺酸盐、脂肪酸烷基醇酰胺以及脂肪酸烷基醇酰胺同聚氧化乙烯的加成物。这种水性表面活性剂溶液作为显影溶液,用于缩小抗蚀图案间距宽度的方法,该方法包括在按照常规方法形成的抗蚀图案上形成水溶性树脂涂膜层,在抗蚀图案所释放的酸的作用下将涂膜层进行交联,然后使用显影溶液溶解并除去涂膜的未交联部分,从而将抗蚀图案加厚。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂膜层 显影 表面活性剂 水溶液 | ||
【主权项】：
1.一种用于涂层显影的表面活性剂水溶液，包括表面活性剂和水或水与有机溶剂的混合物，其特征在于所述表面活性剂包括至少一种选自下面的物质：N-酰基肌氨酸盐、N-酰基-N-甲基丙氨酸盐、N-酰基牛磺酸盐、N-酰基-N-甲基牛磺酸盐、脂肪酸烷基醇酰胺和脂肪酸烷基醇酰胺聚氧化乙烯加成物。
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