[发明专利]除气和冷却两用的装卸锁定组合装置无效
| 申请号： | 01802285.5 | 申请日： | 2001-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1386105A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 安德鲁·克拉克 | 申请（专利权）人： | 安德鲁·克拉克 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种处理晶片的组合装置(10),包括一个金属体(12),金属体中有一个位于至少两个装卸锁定室(18)之间中央的高真空室(20),装卸锁定室与高真空室(20)保持流体连通,至少两个对应槽阀(22)分别隔绝每一个装卸锁定室(18)与高真空室(20)。每一个装卸锁定室(18)还包括一个用于冷却放在其中的晶片的制冷压板(82)和一个在其中照射晶片、对晶片脱气的加热灯组件(120)。一台高真空泵(78)与高真空室(20)连接,一台水泵(64)也与高真空室(20)连通。有选择地按定序操作槽阀(22)、压板(82)、加热灯组件(120)、高真空泵(78)和水泵(64)可使每一个装卸锁定室(18)既可用作冷却室又可用作脱气室。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 两用 装卸 锁定 组合 装置 | ||
【主权项】：
1.一种可在其中进行真空沉积过程的装置，包括：一个有一顶面和一底面的金属体；至少两个从所述顶面到所述底面穿过所述金属体的装卸锁定室；所述金属体中一个与每个装卸锁定室连通的高真空室；以及至少两个装在所述金属体中的隔离阀，每一所述隔离阀使所述高真空室与一个相应的装卸锁定室互连，以便有选择地使每一装卸锁定室与所述高真空室隔绝。
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