[发明专利]用于测量电子器件参数的方法及设备有效
| 申请号： | 01802316.9 | 申请日： | 2001-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1421047A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | L·布尔迪永 | 申请（专利权）人： | 皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/07 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,陈霁 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 利用衬底与SOI器件的漏极之间的固有电容作为电路的部分。衬底与引到芯片外部的传感针连接，并与其它电气元件形成环路，形成包括衬底与漏极之间的固有电容的电路，该电路利用衬底与漏极之间的电容运行。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 电子器件 参数 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种电子器件，具有源极(204)、栅极(205)和漏极(206)，所述电子器件位于衬底(201)上，所述电子器件和衬底在具有外部针(406)的芯片内，所述衬底与外部针(406)电连接，而不与所述源极连接。
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