[发明专利]有放射线敏感性的折射率变化性组合物及折射率变化法有效
| 申请号： | 01802620.6 | 申请日： | 2001-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1388919A | 公开（公告）日： | 2003-01-01 |
| 发明（设计）人： | 西村功;别所信夫;熊野厚司;下川努;山田宪司 | 申请（专利权）人： | 捷时雅株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/36;C08L83/14;C08L101/00;G02B3/00;G02B5/18;G02B6/12;G03H1/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 魏金玺,杨丽琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种含有(A)分解性化合物、(B)折射率比分解性化合物(A)低的非分解性化合物、(C)感放射线分解剂及(D)稳定化剂的有放射线敏感性的折射率变化性组合物。通过使图案掩模介于中间,对该组合物照射放射线,使得放射线照射部分的上述(C)成分和(A)成分分解,在放射线照射部分与放射线未照射部分之间产生折射率之差,形成折射率不同的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 折射率 化性 组合 变化 | ||
【主权项】：
1.一种有放射线敏感性的折射率变化性组合物，其特征在于：含有(A)分解性化合物、(B)折射率比分解性化合物(A)低的非分解性化合物、(C)感放射线分解剂及(D)稳定化剂。
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