[发明专利]八氟丙烷的制备和用途无效
申请号: | 01802661.3 | 申请日: | 2001-08-27 |
公开(公告)号: | CN1438979A | 公开(公告)日: | 2003-08-27 |
发明(设计)人: | 大野博基;大井敏夫 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | C07C19/08 | 分类号: | C07C19/08;C07C17/087;C07C17/10;C07C17/383;H01L21/30;C11D7/50 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩,刘金辉 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种八氟丙烷的制备方法,该方法包括在氟化催化剂存在下,于150-450℃温度下,使六氟丙烯与氟化氢在气相中反应得到2H-七氟丙烷的步骤(1)和在没有催化剂存在下,于250-500℃温度下使步骤(1)中所得的2H-七氟丙烷与氟气在气相中反应以得到八氟丙烷的步骤(2),由该方法可得到能用于制备半导体器件工艺的高纯度八氟丙烷。 | ||
搜索关键词: | 丙烷 制备 用途 | ||
【主权项】:
1.一种制备八氟丙烷的方法,所述方法包括:(1)在氟化催化剂存在下,于约150-450℃温度下使六氟丙烯与氟化氢在气相中反应得到2H-七氟丙烷的步骤;以及(2)在没有催化剂存在下,于约250-500℃温度下使在步骤(1)中得到的2H-七氟丙烷与氟气在气相中反应得到八氟丙烷的步骤。
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