[发明专利]氧化铟中固溶锡的ITO粉末制造方法以及ITO靶的制造方法无效
| 申请号： | 01803102.1 | 申请日： | 2001-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1423621A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 杨井吉朗;中村笃志 | 申请（专利权）人： | 株式会社日矿材料 |
| 主分类号： | C01G19/00 | 分类号： | C01G19/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁香兰,丁业平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及锡固溶在氧化铟中的ITO粉末的制造方法,其特征为把铟和锡的浓度为3.0mol/L以上的硝酸铟和氯化锡混合溶液或浆液,用喷雾热分析法制成ITO粉末；低成本提供锡固溶在氧化铟中且成分分散性优良的ITO粉末和均匀致密的ITO靶；以及由此能抑制ITO溅射成膜不均匀时产生的质量降低和结瘤等异常突起物。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 铟中固溶锡 ito 粉末 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.锡固溶在氧化铟中的ITO粉末的制造方法，其特征为：把铟和锡的浓度为3.0mol/L以上的硝酸铟和氯化锡混合溶液或浆液，用喷雾热分析法制成ITO粉末。
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