[发明专利]制造具有透明导电膜的设备无效
申请号: | 01803185.4 | 申请日: | 2001-10-17 |
公开(公告)号: | CN1394344A | 公开(公告)日: | 2003-01-29 |
发明(设计)人: | 和田俊司 | 申请(专利权)人: | 日本板硝子株式会社 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00;C23C14/08;C23C14/50 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 韩宏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种用于制造具有透明导电膜的基底的设备,其可防止发生非正常放电并使馈送辊持久耐用。一承载器支持一托架,该托架经若干支持部件保持一绝缘基底,各支持部件由一空心圆柱部件(分离器元件)和一空心圆柱部件(支持元件)形成。该承载器通过馈送辊(38)在一ITO烧结体的蒸发颗粒的气氛中被传送,馈送辊38的轴由刚性更大的金属制成。分离器元件将该蒸发颗粒的气氛与支持元件的外表面分离开以在这些蒸发颗粒的迁移和附连的路径中形成一曲径。 | ||
搜索关键词: | 制造 具有 透明 导电 设备 | ||
【主权项】:
1、一种用于制造具有透明导电膜的基底的设备,该设备包括:一保持部件,用于保持一绝缘基底;第一承载装置,用于支持所述保持部件;馈送装置,用于馈送所述第一承载装置;和第二承载装置,其具有配置在第一承载装置上的至少一支持元件和配置在所述第一承载装置上并沿所述支持元件延伸的至少一分离器元件,其中所述第一承载装置经所述第二承载装置支持所述保持部件,且所述分离器元件在用于形成所述透明导电膜的蒸发颗粒的迁移并附连至所述支持元件的一表面上的一路径中连同所述支持元件一起形成一曲径。
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