[发明专利]投影物镜

摘要

本发明涉及一种投影物镜，该物镜至少包括7个其两侧均与空气邻接的透镜。该投影物镜总体满足以下条件等式u≥12.8°、100mm≤LEP≤400mm、σRBa≥1°、σRBi≤－14°，此处u为光入射一侧的孔径角(2u－总角)；LEP为进入光圈(光入射一侧)至物平面(从参考点沿投影方向的位置对应于正值的的物镜平面)的距离；σRBa为光束相对于物与物镜的第一透镜表面之间的物空间光轴所呈的倾斜角，该物镜将场边缘的束(在物中的外场点)限制成朝外(离开光轴，远离光轴)而σRBi为光束相对于物与物镜的第一透镜表面之间的物空间光轴所呈的倾斜角，该物镜将场边缘的束(在物中的外场点)限制成朝内(朝向光轴，接近光轴)。当对应光束与光轴在以下点相交时，即从物方向观察时所述点位于投影的相反方向，角度σRBa和σRBi为正。当对应光束与光轴在以下点相交时，即从物方向观察时所述点位于投影方向，所述角度为负。

主权项

1.投影物镜，该物镜包括7个其双面均与空气邻接的透镜，其特征在于以下总体上必须满足的条件等式：u≥12.8°、100mm≤LEP≤400mmσRBa≥1°σRBi≤-14°此处u为进光侧的孔径角(2u-总角)，LEP为入射光圈(进光侧)至物平面(从参考点沿投影方向的位置：对应于正值的的物平面)的距离，σRBa为光束相对于物与物镜的第一透镜表面之间的物空间光轴所呈的倾斜角，该物镜将场边缘的束(在物中的外场点)限制成朝外(离开光轴，远离光轴)，σRBi为光束相对于物与物镜的第一透镜表面之间的物空间光轴所呈的倾斜角，该物镜将场边缘的束(在物中的外场点)限制成朝内(朝向光轴，接近光轴)，并且当对应光束与光轴在以下点相交时，即：从物方向向外观察时所述点位于投影的相反方向，角度σRBa和σRBi为正。当对应光束与光轴在以下点相交时，即：从物方向向外观察时所述点位于投影方向，所述角度为负，从像(放大一侧))到物(缩小和照光一侧)按照以下顺序排列透镜：第一双凸透镜(1)，第二负透镜(2)，在像一侧表面为凹形，第三正透镜(3)，在像一侧表面为凸形，第四负透镜(4)，在物一侧表面为凹形，第五负透镜(5)，在像一侧表面为凹形，第六正透镜(6)，在物一侧为表面为凸形和第七双凸透镜(7)。