[发明专利]用于数据压缩的群集

摘要

一种采用软件的改进的断面测量数据收集和分析系统，该软件对存储在表示半导体芯片晶片断面的存储器中的库数据进行群集分析，用于实时匹配来自由断面测量仪器收集的数据的数据信号。为了更好地在输入的数据信号与断面库数据之间实时进行匹配为群集，并抽取群集的代表性的群集数据点。代表性群集存储在主存储器(例如RAM)，而形成群集的数据存储在次存储器(例如硬驱动器)。然后实时数据信号首先与代表性群集数据点比较，并当与特定的代表性群集数据点形成匹配时，与代表性群集数据点相关的群集从次存储器加载到主存储器。然后进而使用输入的实时数据信号进行搜索，以找出与群集中的数据最接近的匹配。这样，不必顺序地搜索整个的库数据，因而为了快速搜索，整个的库不必驻留在主存储器中，这既保存了时间又保存了主存。进而公开了细分驻留在群集的teh边界上的点的具体情形的技术。在优选实施例中，群集的划分方法基于teh T.Gonzalez算法。

主权项

1.一种用于半导体芯片制造的改进的软件程序，包括：计算机存储器，包括主存储器和次存储器；软件模块，用于作为实时数据信号表示从仪器收集的实时数据；软件模块，用于把多维空间中点的库数据集合S群集为群集集合；比较软件模块，用于比较所述实时数据信号与群集的所述集合，以便找出所述实时数据信号与所述群集中的所述点之间最接近的匹配。