[发明专利]气体的分离纯化方法及其装置无效
| 申请号： | 01805349.1 | 申请日： | 2001-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1404413A | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 川井雅人;中村章宽;长坂彻;林田茂 | 申请（专利权）人： | 日本酸素株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹雯,杨丽琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 是利用PSA过程能够效率良好地回收作为半导体制造装置等的保护气体使用的氪或氙等高价的气体的气体分离纯化方法。在以含有高价的气体的混合气体为原料气体，利用压力变动吸附分离法将上述高价的气体分离纯化的方法中，作为上述压力变动吸附分离法，通过组合基于平衡吸附量差分离气体成分的平衡压力型变动吸附分离法和基于吸附速度差分离气体成分的速度型压力变动吸附分离法，将上述高价的气体分离纯化。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分离 纯化 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.气体的分离纯化方法，它是以含有高价的气体的混合气体作为原料气体、利用压力变动吸附分离法进行分离纯化的方法，作为上述压力变动吸附分离法，通过组合基于平衡吸附量差分离气体成分的平衡型压力变动吸附分离法和基于吸附速度差分离气体成分的速度型压力变动吸附分离法，分离纯化上述高价的气体。
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