[发明专利]一种用于带电粒子束装置的物镜有效
| 申请号： | 01805432.3 | 申请日： | 2001-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1404617A | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 帕维尔·亚达梅克 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/10 | 分类号： | H01J37/10;H01J37/14;H01J37/26;H01J29/66 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于带电粒子束装置的改进物镜。该物镜包括一个磁透镜，用于产生一个第一磁场将带电粒子束聚焦在样品上。而且，通过提供至少一个附加线圈配置，一个偏转装置被集成到磁透镜中，产生一个第二磁场用于使带电粒子束偏转。因此，第二磁场通过磁透镜的至少一个磁极条被控制，本发明也提供了用于带电粒子束装置的改进的圆柱腔，它包括改进的物镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 带电 粒子束 装置 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种用于一种带电粒子束装置的物镜，带电粒子束装置被用于检测或者处理样品，该物镜包括：a)至少两个磁极条，由此一个较低的磁极条通过一个磁极条间隙与一个较高的磁极条隔开，该较高的磁极条和该较低的磁极条为带电粒子束提供了一个路径。b)至少一个第一激励线圈配置，用于在所述较高的磁极条和所述较低的磁极条之间产生一个第一磁场，从而将带电粒子束在样品上聚焦，并且c)一个磁偏转装置包括至少一个第二激励线圈配置，用于产生一个第二磁场，从而使带电粒子束偏转，该第二磁场通过至少一个磁极条被导向控制。
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