[发明专利]金属－绝缘体－金属电容器及其制作方法有效
| 申请号： | 01806127.3 | 申请日： | 2001-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1411611A | 公开（公告）日： | 2003-04-16 |
| 发明（设计）人： | R·拉奇纳;M·施维德;M·施伦克 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 集成组件层结构中的电容器层叠(12)与邻近的互连层(13)之间除电介质夹层(5)外具有相同的层序列。这显著地方便了通孔(16)的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 绝缘体 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种有多个互连层(13)和一个电容器(12)的集成元件，其中的电容器(12)包含一个第一电极(14)、一个电介质夹层(5)和一个第二电极(15)，其特征在于，电容器(12)的电极(14和15)总的层序列(3、4、7-11)与邻近互连层(13)的层序列(3、4、7-11)完全相同。
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