[发明专利]等离子聚合系统和等离子聚合方法

摘要

本发明公开了至少包含一个室的等离子聚合系统。在所述室中产生反应性气体的等离子体而使片材表面聚合之后，向该室中加入氧气和氮气的混合气体以阻止片材聚合性能的恶化。空气可作为混合气体供应。

主权项

1.一种等离子聚合方法，所述的方法包含以下步骤：通过对加入聚合室的反应性气体进行高压放电产生等离子体，使基材表面聚合；和通过对所加入的氧气和氮气混合气进行高压放电产生等离子体来增强基材表面特性，从而保持经前述聚合步骤而淀积有聚合物的基材的表面特性。