[发明专利]将图案转移到一个物体上的装置有效
申请号: | 01806518.X | 申请日: | 2001-03-14 |
公开(公告)号: | CN1437714A | 公开(公告)日: | 2003-08-20 |
发明(设计)人: | 拉尔斯·蒙特利乌斯;巴巴克·海达里;托德·谢恩霍尔姆 | 申请(专利权)人: | 奥博杜卡特股份公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;B41M1/06;B81C1/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 黄必青 |
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摘要: | 将一个微米或纳米结构的图案从印模(1)转移到物体(2)上的装置,它包括带有印模(1)的接受面(13)的第一接触装置(11)和带有物体(2)的接受面(23)的第二接触装置(20)。一个压力装置(10)能够操纵至少一个接触装置(11,20),使印模(1)与物体(2)相互配合。一个接触装置(11,20)包括一个基础(21)和一个支承件(22)。支承件(22)有一个第一端和一个第二端,第一端形成所述一个接触面(23),相对的第二端与基础(21)转动连接,使印模(1)与物体(2)相互接触时自动处于相互平行的位置。 | ||
搜索关键词: | 图案 转移 一个 物体 装置 | ||
【主权项】:
1.将图案从印模(1)转移到物体(2)上的装置,它包括带有印模(1)的接受面(13)的第一接触装置(11)、带有物体(2)的接受面(23)的第二接触装置(20)、和一个压力装置(10),压力装置用于操纵至少一个接触装置(11,20),使印模(1)与物体(2)接触,其特征在于,第一和第二接触装置(11,20)中的一个包括一个基础(21)和一个支承件(22),支承件(22)有一个第一端和一个第二端,第一端限定所述一个接触面(23),相对的第二端与基础(21)转动连接,使印模(1)与物体(2)相互接触时自动处于相互平行的位置。
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