[发明专利]用于排放均匀化学制品的滴落歧管无效
| 申请号： | 01807368.9 | 申请日： | 2001-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1420806A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 邓·E·安德森;卡特里娜·米哈耶里奇;麦克·拉夫金;约翰·M·德拉奥斯 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分类号： | B05B1/02 | 分类号： | B05B1/02;B08B1/04;B08B3/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于晶片清洗系统的带有滴落喷嘴的滴落歧管，该滴落喷嘴构造为能够形成受控的液滴。该滴落歧管包括固定到滴落歧管上的多个滴落喷嘴，多个滴落喷嘴中的每个具有限定在第一段和第二端之间的通道。一蓝宝石孔口限定在该通道内且位于滴落喷嘴的第一端。该蓝宝石孔口形成角度，以产生在通道内朝向第二端反射的流体束，从而形成在刷子上的一个或多个均匀的液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 排放 均匀 化学 制品 滴落 歧管 | ||
【主权项】：
1、一种用在晶片清洗操作中的滴落歧管，其包括：多个滴落喷嘴，每个滴落喷嘴包括第一端和第二端以及限定在它们之间的通道；蓝宝石孔口，被限定在该通道内，且位于滴落喷嘴的第一端，该蓝宝石孔口形成一角度，从而产生朝向第二端反射的流体束，以便在一表面上形成一个或者多个均匀的液滴。
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