[发明专利]计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置无效
| 申请号： | 01807394.8 | 申请日： | 2001-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1420982A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 长坂博之;青木贵史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01N27/409 | 分类号： | G01N27/409;G01N27/26;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 目的在于提供能高精度迅速地计测给定气体中包含的任意物质、并且作业效率良好的计测方法以及计测装置、曝光方法以及曝光装置。曝光装置S具有能计测吸光物质的计测部M；能向计测部M供给光路空间LS内气体GS的气体供给装置N；能向计测部M供给减少了吸光物质的清净气体GT2的清净气体供给装置H；能交替切换对计测部M的气体GS以及清净气体GT2的供给的切换装置B。在减少了计测部M中的残留吸光物质的状态下，以高精度进行气体GS中包含的吸光物质浓度的计测。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 以及 装置 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种计测方法，计测给定气体中包含的任意物质；其中，对于能计测所述任意物质的计测部，在供给所述给定气体前，向所述计测部供给所述任意物质的浓度被降低了的特定气体；向所述计测部供给了所述特定气体后，向所述计测部供给所述给定气体，计测所述任意物质。
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