[发明专利]用含氨基酸的组合物研磨内存或硬盘的方法无效
| 申请号： | 01807598.3 | 申请日： | 2001-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1422313A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 方明明;王淑敏 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贾静环,宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用以使内存或硬盘表面平坦或抛光的方法，包含用(i)研磨组合物，包含选自过硫酸盐和过氧化物的氧化剂、氨基酸和水，及(ii)磨料，研磨至少一部分表面。 | ||
| 搜索关键词： | 氨基酸 组合 研磨 内存 硬盘 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用以使内存或硬盘表面平坦或对其进行研磨处理的方法，包含用(i)研磨组合物，包含选自过硫酸盐和过氧化物的氧化剂、氨基酸和水，及(ii)磨料，研磨至少一部分表面。
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