[发明专利]碘激光用高频放电型激励氧发生器及高频放电型激励氧发生方法无效
| 申请号： | 01808071.5 | 申请日： | 2001-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1423854A | 公开（公告）日： | 2003-06-11 |
| 发明（设计）人： | 藤井洋郎;约瑟夫·施米德博格;冈村实;吉谷英司 | 申请（专利权）人： | 藤崎电机株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/095 | 分类号： | H01S3/095;H01S3/22 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉,丁业平 |
| 地址： | 日本德岛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 高频放电型激励氧发生器,具有空心阴极(2),其开口有等离子槽(3)；阳极(4),设置在该空心阴极(2)的排出侧并与空心阴极(2)绝缘；和高频电源(5),向该阳极(4)和空心阴极(2)之间提供高频电能。激励氧发生器向空心阴极(2)的等离子槽(3)供给O2气或O2气中混合有其他气体的混合气体,生成单态激励氧。另外,激励氧发生器在空心阴极(2)的等离子槽(3)的供给侧,设置有对着等离子槽(3)的中心供给NO气体的喷射器(10)。供给等离子槽(3)的中心部分的NO气体,在没有氮和氧离解的状态下激励O2气,产生激励氧。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 高频放电 激励 发生器 发生 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碘激光用高频放电型激励氧发生器，具有：空心阴极(2)，其开口有等离子槽(3)；阳极4，设置在贯通该空心阴极(2)的等离子槽(3)的排出侧，并与空心阴极(2)绝缘；和高频电源(5)，向该阳极(4)和空心阴极(2)之间提供高频电能，该发生器向空心阴极(2)的等离子槽(3)供给O2气或O2气中混合有其他气体的混合气体，生成单态激励氧，其特征在于：
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