[发明专利]通过中性流束的碰撞产生超紫外线的光源无效
| 申请号： | 01809937.8 | 申请日： | 2001-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1430865A | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 马尔科姆·W·麦杰奥奇 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯有限责任公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文涉及光子源，光子源包括放射室、处于放射室中的多个离子束源以及中和机制。每个离子束源通过静电作用对流向等离子放射区域的工作气体离子束进行加速。中和机制在工作气体离子束进入等离子放射区域之前至少部分将其中和。中和后的离子束进入等离子放射区，并且形成辐射出光子的热等离子体。辐射出的光子可以是软性X射线，或者是超紫外线波长范围内的光线。在某一实施方案中，所产生光子的波长在10～15纳米之间。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 中性 碰撞 产生 紫外线 光源 | ||
【主权项】：
1.一种光子源，其组成如下：放射室；多个离子束源，这些离子束源位于放射室之内，每个离子束源通过静电作用对流向等离子体放射区域的离子束进行加速；中和机制，在所述的离子束进入等离子体放射区域之前，中和机制至少将部分离子束中和，其中中和后的离子束进入等离子体放射区域，并形成辐射出光子热等离子体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普莱克斯有限责任公司，未经普莱克斯有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01809937.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
