[发明专利]改进的热致弯曲致动器无效

专利信息
申请号: 01810071.6 申请日: 2001-05-02
公开(公告)号: CN1430577A 公开(公告)日: 2003-07-16
发明(设计)人: 基亚·西尔弗布鲁克 申请(专利权)人: 西尔弗布鲁克研究有限公司
主分类号: B81B3/00 分类号: B81B3/00;B81C1/00;B41J2/045
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 李晓舒,魏晓刚
地址: 澳大利亚新*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种热致弯曲致动器(6),其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28),它们是非平面的,以便增大支臂的刚度。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开,并且在平面图中彼此不重叠,从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。
搜索关键词: 改进 弯曲 致动器
【主权项】:
1.一种用于微型机械或微型机电装置的热致动器,该致动器包括:a)支撑衬底;b)致动器延伸部分;c)至少一个细长的第一支臂,该支臂在其第一端附着到衬底上,而在第二端附着到延伸部分上,第一支臂在使用时布置成可以通过传导加热;d)至少一个细长的第二支臂,该支臂在其第一端附着到支撑衬底上,而在第二端附着到延伸部分上,第二支臂与第一支臂间隔开,在使用中,至少一个第一支臂经历热膨胀,由此导致致动器向延伸部分施力,并且其中,在横截面中,所述至少一个第一支臂和所述至少一个第二支臂中的至少一个为非平面的。
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