[发明专利]利用聚集角设计进行光学检测的方法和装置

摘要

本发明提供了对具有图样的物件进行光学检测的方法和装置。以入射光照射该物件上的一个区域，而由该被照射区产生反射光。获得被照射区的图像，并加以分析，以确定被照射区图样所散射的光的强度分布，所述的散射光是在镜面反射光的传输立体角之外的聚集角视场内传输的光。基于所确定的强度分布，聚集由被照射区散射并且以所述聚集角的至少一个预定立体角部分传输的光分量，并将其导引到暗场检测单元中。

主权项

1.一种对具有图样的物件进行光学检测的方法，该方法包括以下步骤：(i)用入射光照射物件的一个区域，以从被照射区产生反射光；(ii)获得被照射区的图像，并生成表示它的数据；(iii)分析该生成的数据，并确定镜面反射光的传输立体角之外的一个聚集角视场内从被照射区的图样所散射的光分量的强度分布；(iv)基于所确定的分布，过滤在所述聚集角视场内所聚集的光，以便聚集那些由被照射区散射且至少在所述聚集角视场的一预定立体角部分内传输的光分量，将这些聚集光分量导向一个检测单元。