[发明专利]形成平版印刷用填隙材料的组合物有效
| 申请号： | 01812504.2 | 申请日： | 2001-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1440518A | 公开（公告）日： | 2003-09-03 |
| 发明（设计）人： | 竹井敏;水泽贤一;曾根靖久 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08L25/18;C08L33/04;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种形成填隙材料的组合物，作为在具有孔或沟等凹凸的基板上的平坦化性优良、不会与抗蚀剂层发生混合、与抗蚀剂相比具有较大干式蚀刻速度的平版印刷用填隙材料，用于采用下述方法制造半导体装置，即在具有用高度/直径表示的高宽比为1以上的孔的基板上被覆抗蚀剂，利用平版印刷工艺，在基板上复制图像，所述组合物在被覆抗蚀剂前的该基板上被覆，使基板表面平坦，其中含有由聚合物和溶剂构成的聚合物溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 平版印刷 填隙 材料 组合 | ||
【主权项】：
1、一种形成填隙材料的组合物，用于采用下述方法制造半导体装置，即，在具有用高度/直径表示的高宽比为1以上的孔的基板上被覆抗蚀剂，利用平版印刷工艺在基板上复制图像，所述组合物在被覆抗蚀剂前的该基板上被覆，使基板表面平坦，所述组合物的特征在于，含有由聚合物和溶剂构成的聚合物溶液。
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