[发明专利]微机械衍射相位光栅无效
| 申请号： | 01812517.4 | 申请日： | 2001-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1441920A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | D·钟 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郑建晖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机械反射相位光栅，可以由象弹簧一样的带状反射器组成，这些反射器固定在位于例如一硅基底的基底上的透明盖上。带状反射器相对于硅基底独立地形成。如果在相位光栅和多个带状反射器中发生损害，顶板组件能够在不牺牲相对昂贵的硅基底的情况下返工或放弃。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 衍射 相位 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种相位光栅，包括：一包括一基底的底板组件；和一密封在所述的底板组件上的顶板组件，所述顶板组件包括一透明盖和至少一个固定在所述盖上的带状反射器，带状反射器朝向或远离所述底板组件弹性偏转。
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