[发明专利]表面等离子体振子共振传感器的耦合元件

摘要

本发明提供表面等离子体振子共振传感器的耦合元件的形成方法和结构。本发明中，两束重叠的单色相干光之间的干涉图案被安排产生在主基片的光敏膜上。至少有一束光是以斜角射向主基片的，而且调节两重叠光束焦点的位置，为的是将光学象差减至第三级。光敏膜显影后，生成在主基片上的表面浮雕图案作为衍射光学元件被复制到SPR传感器芯片。衍射光学元件像光学耦合元件那样工作，将入射光束衍射成40至80度范围内的斜角。

主权项

1.一种方法，用于形成恰当的第一表面浮雕图案，复制到基本透明组分的基本平表面，从而形成第一衍射光学元件，该基本透明组分被调整以形成表面等离子体振子共振传感器的部件，该方法的步骤包括：-提供主基片，该主基片具有基本平表面，-在主基片的基本平表面上提供光敏材料层，-将光敏层曝露在第一和第二电磁辐射波，即将光敏层曝露在第一和第二电磁辐射波交叉处空间重叠产生的第一干涉图案里，在那里-在光敏层处，第一电磁辐射波具有第一平均传播矢量，并且在那里-在光敏层处，第二电磁辐射波具有第二平均传播矢量，在第一和第二电磁辐射波之间的交叉处，第二平均传播矢量与第一平均传播矢量形成夹角，在那里，第一与第二平均传播矢量间的夹角这样选定：具有入射平均传播矢量的入射电磁辐射波的传播方向以这种方式改变，即当该入射电磁辐射波照射在复制到基本透明组分的基本平表面的第一衍射光学元件的时候，入射平均传播矢量与衍射平均传播矢量之间的最小夹角应大于40度。