[发明专利]自动光学测量方法有效
| 申请号： | 01813501.3 | 申请日： | 2001-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1444727A | 公开（公告）日： | 2003-09-24 |
| 发明（设计）人： | 稻本直树;泽村义巳;藤村慎二;田口都一 | 申请（专利权）人： | 大塚电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/27 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 按照本发明的自动光学测量方法，利用把可动的反射板6移至光轴位置，光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，另一方面，利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上，光投射部分3a经过参照物8投射的光，被光接收部分3b接收，据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时，则把可动反射板6移至光轴位置，光投射部分3a投射的光，经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，于是，用由此接收的光强和上述比值，估算用参照物测量的光强，用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 光学 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动光学测量方法，用于测量光投射部分投射在样品上的光以及该样品反射进光接收部分的光：其中，把一可动反射单元放在样品台与光投射及接收部分之间的位置；其中，把一不动反射单元放在该样品台与可动反射单元相对的一侧；把该可动反射单元移至光轴位置，光投射部分经过该可动反射单元、不动反射单元、和可动反射单元投射的光，被光接收部分接收；把可动反射单元从光轴移开，把参考物放在该样品台上，以便光投射部分经过该参考物的光，能被光接收部分接收，确定该两次接收的光强的比值；和在样品测量时，把可动反射单元移至光轴位置，光投射部分经过该可动反射单元、不动反射单元、和可动反射单元投射的光，被光接收部分接收，利用该接收的光强和上面确定的比值，估算用参考物测量的光强，并用该估算的用参考物的光强，校正经过样品的光强。
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