[发明专利]电子元件及其制造方法有效
| 申请号： | 01814061.0 | 申请日： | 2001-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1446377A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 霍尔丹·S·翰瑞;达雷尔·G·希尔;戈比·G·拉姆帕雷 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | H01L23/482 | 分类号： | H01L23/482 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯赓宣 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明披露了一种电子元件，该电子元件包括衬底(110)和位于该衬底之上的空气桥路(890)。空气桥路至少具有第一层和位于第一层之上的第二层。空气桥路是导电的，其中空气桥路第一层的电阻小于空气桥路第二层的电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体元件，该半导体元件包括：半导体衬底；半导体器件，其被半导体衬底支持；第一电绝缘层，其覆盖在半导体衬底和半导体器件之上；以及空气桥路，位于半导体衬底之上、位于第一电绝缘层之上并与半导体器件电连接，其中：空气桥路具有第一导电层；以及空气桥路具有覆盖在第一导电层之上的第二电绝缘层。
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