[发明专利]用于半导体激光器泵浦的固体激光器系统中的具有集成微透镜的VCSEL及VCSEL阵列无效
| 申请号： | 01814221.4 | 申请日： | 2001-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1448000A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张开颜;张家民;楚尼·L·戈什 | 申请（专利权）人： | 普林斯顿光电子学公司 |
| 主分类号： | H01S5/42 | 分类号： | H01S5/42;H01S5/026;H01S3/0941;H01S3/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL)设备，具有改进的功率及光束性能。VCSEL设备包括一个VCSEL或一个VCSELs阵列。每个VCSEL具有一个相应的集成微透镜，及一个在VCSEL设备旁边的热沉。该热沉可以改善散热性，并且因此能提供VCSEL设备输出激光束的改进的功率性能。该微透镜或微透镜阵列允许VCSEL设备输出激光束的更容易和更小型的聚焦。该VCSEL设备能被用于多种光学系统中，并且它的改进的功率及聚焦性能可以提供一个小型、低功率、低成本的激光器系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体激光器 固体激光器 系统 中的 具有 集成 透镜 vcsel 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种在垂直腔表面发射激光器(VCSEL)设备内的结构，该结构包括：一个基底，具有一个形成在其中的微透镜；一个第一镜区，形成在所述的基底上；一个激活层，形成在所述的第一镜区；一个第二镜区，形成在所述的激活层；以及一个热沉，形成在所述的第二镜区。
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