[发明专利]基于网络的光掩模数据输入接口和用于制造光掩模的指令生成器

摘要

一种用于根据顾客输入的光掩模规格数据而生成用在光掩模制造设备的指令的计算机网络。通常通过互联网连接将一系列订单输入屏下载到远程顾客的计算机上。该顾客被提示要输入光掩模规格数据，该光掩模规格数据被交付到制造商的本地网络的计算机设备中。该制造商的计算设备验证光掩模规格数据，并使用该数据来生成蚀刻指令和设备控制指令。该蚀刻指令与来自顾客的图形设计数据一起被发送到蚀刻机，它用于提供蚀刻图形数据。然后，可以把该控制指令和蚀刻图形数据电子交付到该制造设备。

主权项

1.一种生成供光掩模制造设备使用的指令的计算机网络，包括：接口计算机，该接口计算机可以被远程顾客计算机通过远程网络连接而访问，并且在该网络连接期间，该接口计算机运行时执行下述任务：从顾客计算机接收光掩模规格数据，验证该光掩模规格数据以及把验证结果下载到该顾客计算机上；其中，该光掩模规格数据至少要识别用于至少一个光掩模的各层、图形、布局以及蚀刻数据；与接口计算机通信的光掩模规格数据库，它运行时用于存储该光掩模规格数据；与光掩模规格数据库通信的命令生成器，它运行时用于响应该光掩模规格数据以生成蚀刻指令和控制指令；用于存储光掩模设计数据的顾客设计数据库；用于接收蚀刻指令和设计数据并使用该数据来生成蚀刻图形数据的蚀刻机。