[发明专利]闪烁器面板、放射线图象传感器和它们的制造方法

摘要

本发明提供一种闪烁器面板(1)，它包括：具有耐热性的放射线透射衬底(5)；形成在放射线透射衬底(5)上的作为光反射膜的电介质多层膜镜(6)；形成在电介质多层膜镜(6)上，把入射到放射线透射衬底(5)且通过电介质多层膜镜(6)的放射线变换为光而发出的闪烁器(10)。因为放射线透射衬底(5)具有耐热性，所以电介质多层膜镜(6)能进行高温蒸镀，其结果，能以光反射率高的状态形成。另外，电介质多层膜镜(6)不会象金属膜那样与闪烁器(10)反应而腐蚀。

主权项

1.一种闪烁器面板，其特征在于：包括：耐热性衬底；堆积在所述耐热性衬底上的电介质多层膜镜；在所述电介质多层膜镜上以柱状结构排列堆积多个、把入射的放射线变换为光来进行放射的闪烁器；至少覆盖所述闪烁器的保护膜；所述电介质多层膜镜反射由所述闪烁器放射的光，使其向所述闪烁器一侧返回。