[发明专利]利用外部影响在工件的上表面和空腔表面放置的添加剂之间产生差别的电镀方法和设备无效

专利信息
申请号: 01815549.9 申请日: 2001-08-09
公开(公告)号: CN1559081A 公开(公告)日: 2004-12-29
发明(设计)人: 布兰特·巴索 申请(专利权)人: 纳托尔公司
主分类号: H01L21/288 分类号: H01L21/288;H01L21/768
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 王永刚
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及在衬底表面上以非常理想的方式电镀导电材料的方法和设备。本发明去除吸附于工件顶部的至少一种添加剂,多于去除放置在空腔部分上的至少一种添加剂,从而使得导电材料的电镀在添加剂完全重吸附至顶部之前发生,并导致空腔部分相对于顶部电镀更多。
搜索关键词: 利用 外部 影响 工件 表面 空腔 放置 添加剂 之间 产生 别的 电镀 方法 设备
【主权项】:
1.一种电镀导电性工件上表面的方法,工件的导电性上表面包括顶部和空腔部分,此方法包括以下步骤:在工件的导电性上表面应用其中含有至少一种添加剂的电解液,添加剂的第一部分吸附于顶部,添加剂的第二部分吸附于空腔部分上;对顶部应用外部影响,外部影响从工件的顶部去除之前吸附于顶部上添加剂的第一部分中的一部分;在添加剂完全重吸附至顶部之前,电镀导电性工件上表面,从而导致空腔部分相对于顶部更多的电镀。
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