[发明专利]影印用于平版印刷工艺中的自动化液体分配的方法和系统

摘要

公开了一种在平版印刷过程中用于在平坦材料的表面，或包括半导体晶片的基片上分配液体的自动化液体分配方法和系统。该分配方法使用可以在液体分配器尖端和基片之间产生相对横向运动的液体分配器和基片台。还描述了一种用于使用基本上无图案的平坦模板在基片上创建平坦表面的方法和装置。

主权项

1.一种使用有图案的模板在基片上形成图案的方法，其特征在于，包括：将活性光可固化液体应用到基片的一部分上，其中液体以预定的图案被应用到基片上，其中在基片上的液体的表面积小于有图案的模板的表面积；定位有图案的模板和基片使彼此具有一定的空间关系，使有图案的模板和基片之间产生一个间隙，其中当有图案的模板以与基片的空间关系定位时，应用的液体基本上填满该间隙；将活性光照射到液体，其中活性光照射基本上固化该液体，其中在固化液体中形成有图案的模板上的图案；和从固化液体上分离有图案的模板。