[发明专利]电容式传感器无效
申请号: | 01815657.6 | 申请日: | 2001-05-23 |
公开(公告)号: | CN1459021A | 公开(公告)日: | 2003-11-26 |
发明(设计)人: | 森本英夫 | 申请(专利权)人: | 新田株式会社 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L5/22;G06F3/033 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘宗杰,梁永 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在基板(20)上与位移电极(40)对置来形成电容元件电极(E1)及基准电极(E31),配置具有圆顶形状的开关可动电极(E21),使其与基准电极(E31)接触,并且与基准电极(E31)的内侧形成的开关固定电极(E11)隔离并对其进行覆盖。对检测部件(30)实施操作,开关可动电极(E21)的顶部近旁发生位移,与开关固定电极(E11)接触后,开关变为“开”状态。此外,能够根据位移电极(40)和电容元件电极(E1)之间构成的电容元件(C1)的电容值的变化来识别施加到检测部件(30)上的力的大小。 | ||
搜索关键词: | 电容 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种电容式传感器,其特征在于,包括:基板,在定义XYZ三维坐标系时,规定XY平面;检测部件,与上述基板对置;导电性部件,位于上述基板和上述检测部件之间,随着上述检测部件向Z轴方向的位移而向Z轴方向发生位移;基准电极,被形成在上述基板上,与上述导电性部件电连接,并且接地或保持一定电位;第1电极,被形成在上述基板上;第2电极,被形成在上述基板上,与上述导电性部件构成第1电容元件;以及第3电极,被配置得与上述第1电极隔离,并且能够随着上述导电性部件的位移而与上述第1电极接触;能够利用输入到上述第2电极上的信号来检测上述导电性部件和上述第2电极的间隔的变化所引起的电容值的变化,据此来识别上述检测部件的位移、及上述第1电极和上述第3电极有无接触。
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