[发明专利]大气压等离子体组件无效
| 申请号： | 01816249.5 | 申请日： | 2001-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1466771A | 公开（公告）日： | 2004-01-07 |
| 发明（设计）人： | 弗格尔·奥瑞莱;彼得·杜宾;安斯尼·赫伯特 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁爱尔兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 爱尔*** | 国省代码： | 爱尔兰;IE |
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| 摘要： | 大气等离子体组件具有一对平行相间的平面电极(36)，其每一个均与介电平板(31)粘接。两个隔板(21)将介电平板(31)分离以形成等离子体区域。具有喷嘴的喷射杆用于将冷却水喷射到介电平板(31)和电极(36)上。在理想情况下，介电平板(31)与电极(36)垂直排列。 | ||
| 搜索关键词： | 大气压 等离子体 组件 | ||
【主权项】：
1.一种大气压等离子体组件(2)，包含一对平行相间的平面电极(36)，其间有至少一个介电平板(31)并与一电极(36)相邻，该介电平板(31)与另一个介电平板(31)或电极(36)之间的间隔形成了用于先驱气体的等离子体区域(25)，其特征在于，当电极(36)邻近介电平板(31)时，冷却液体分布系统便被提供用以引导冷却传导液体到电极(36)外部从而覆盖该电极的平面表面。
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