[发明专利]红外线终点检测系统

摘要

提供了用于实现处理状态和基板表面组分的红外线检测的化学机械平面化系统和方法。在一个例子中，化学机械平面化系统包括用于保持和旋转一个基板的基板夹盘，安装在制备载体上的制备头，和安装在修整载体上的修整头。制备头被配置为压靠该基板，与基板整个表面区域上的至少一部分重叠，该部分小于基板的整个表面区域。该系统进一步包括红外线传感器，设置在基板上方以感测来自基板表面的红外线发射。红外线传感器的几个例子包括单点、扫描、和阵列红外线传感器。在另一个例子中，提供了使用红外线感测来确定基板的处理状态和表面组分的方法。在化学机械平面化期间，红外线传感器被设置为感测来自基板表面的红外线发射，并分析该红外线发射以确定处理状态并产生基板的形态细节。

主权项

1.一种化学机械平面化系统，包括：基板夹盘，被配置为保持和旋转一个基板，该基板具有要进行制备的一个或多个已形成的层；具有一个制备头的制备载体，该制备头被配置为施加到基板的制备表面上，使得制备头与基板的制备表面的至少一部分重叠，该部分小于基板的制备表面的整个部分；和红外线传感器，被设置为感测来自基板的制备表面的红外线发射。