[发明专利]压力测量单元无效
| 申请号： | 01817610.0 | 申请日： | 2001-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1469995A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·海因茨·班霍尔策;卡尔·弗勒格尔;弗兰克·黑格纳;贝恩德·罗斯科普夫;安格利卡·安德烈斯 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种压力测量单元，带有基体(1，23，25)，在构成测量室(3，29，31)情况下与基体(1，23，25)连接的膜片(5，27)，该膜片在工作时发生取决于所要测量的压力(p，p1－p2)的偏移，由基体(1，23，25)的靠近膜片的表面构成的膜片床，其上涂覆至少一个电极(7，33，67)，该电极与涂覆在膜片(5，27)上的对应电极(9，35，69)共同构成电容器，其电容量为膜片(5，27)偏移的测量值，其中，电极(7，33，67)穿过基体(1，23，25)电连接；其中，测量室(3，29，31)在触点接通的区域内具有平整的表面，带有通过贯穿基体(1，23，25)的孔(11，57，71)的触针(13，59，73)，通过它电连接测量电容量的电极(7，33，67)，以及触针在膜片床一侧用焊料(19，57，75)焊接在孔(11，57，71)中，其中，触针(13，59，73)、焊料(19，57，75)和膜片床构成平整的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 测量 单元 | ||
【主权项】：
1.一种压力测量单元，带有基体(1，23，25)，在构成测量室(3，29，31)情况下与基体(1，23，25)连接的膜片(5，27)，该膜片在工作时发生取决于所要测量的压力(p，p1-p2)的偏移，由基体(1，23，25)的靠近膜片的表面构成的膜片床，其上涂覆至少一个电极(7，33，67)，该电极与涂覆在膜片(5，27)上的对应电极(9，35，69)共同构成电容器，其电容量为膜片(5，27)偏移的测量值，以及通过贯穿基体(1，23，25)的孔(11，57，71)的触针(13，59，73)，通过它电连接测量电容量的电极(7，33，67)，以及触针在膜片床一侧用焊料(19，57，75)焊接在孔(11，57，71)中，其中，触针(13，59，73)、焊料(19，57，75)和膜片床构成平整的表面。
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