[发明专利]在工具系统中对于嵌入式工艺控制结构的方法和装置有效
| 申请号： | 01817853.7 | 申请日： | 2001-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN1630840A | 公开（公告）日： | 2005-06-22 |
| 发明（设计）人： | A·J·托普拉克;E·小科斯 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种方法和一种装置以在制造工具系统内执行嵌入式工艺控制。此方法与装置至少处理一种半导体装置。对应该半导体装置工艺进行一种嵌入式工艺控制程序。对应该嵌入式工艺控制程序进行半导体装置其后的工艺。本发明的装置包括：计算机系统、以及以该计算机为接口的至少一个制造工具系统，此制造工具系统包括能从该计算机系统接收命令的嵌入式工艺控制系统以及以该制造工具系统进行制造程序的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 工具 系统 对于 嵌入式 工艺 控制 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：处理至少一种半导体装置；响应所述半导体装置的所述处理而执行嵌入式工艺控制程序；以及响应所述嵌入式工艺控制程序而执行其后的半导体装置的工艺。
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