[发明专利]光波导和序列波导光栅中的双折射控制无效
| 申请号： | 01819208.4 | 申请日： | 2001-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1474952A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | S·W·络博茨 | 申请（专利权）人： | 博克汉姆技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 张政权 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种控制制作在硅(1)中的肋状波导结构中的双折射的方法，该肋状波导结构包括一个有一个上表面和两个侧面的延长的肋状元件(4)，该方法包括在所述肋状波导结构的至少一个部分的所述上表面和侧面上形成一个有预先确定厚度的热氧化层(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 序列 光栅 中的 双折射 控制 | ||
【主权项】：
1.一种控制制作在硅中的一个肋状波导结构中的双折射的方法，其特征在于，该肋状波导结构包括一个有一个上表面和两个侧面的延长的肋状元件，该方法包括：在所述延长的肋状元件的至少一个部分的所述上表面和侧面上提供一个有预先确定厚度的热氧化层。
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