[发明专利]衬底表面检测方法与设备有效
| 申请号： | 01819300.5 | 申请日： | 2001-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1568419A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | T·伯丁－穆罗特;J·－P·杜谢;D·格尔蒙德;P·－H·格林;Y·苏雷尔 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃厂 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;张志醒 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及到衬底(2)表面的分析方法，其在于提供表面上方至少一个标板(1)的反射图象，通过沿两个方向上局部相位的数字处理予以检出。本发明的特征在于它是通过基于局部相位的数字处理来计算出局部斜率变化从而根据这些变化推导出表面曲率变化或高度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 表面 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.衬底(2)表面的检测方法，该方法在于拍摄在所说表面上至少一个测试型板(1)的至少一个反射图象并且通过对两个方向上局部相位的数字处理加以提取，其特征在于：局部斜率的变化通过依据局部相位的数字处理进行计算，以便根据这些变化推导出该表面的曲率变化或高度变化。
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